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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))壓力傳感器以其體積小、功耗低、集成度高、性能優(yōu)異等特點,在汽車、生物醫(yī)學(xué)、航空航天等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。然而,MEMS壓力傳感器的...
壓力變送器及壓力芯體的結(jié)構(gòu)及原理簡介:壓力芯體在壓力測量中充當(dāng)了壓力信號的初值反饋,最終壓力信號經(jīng)過校準(zhǔn)、調(diào)理等將信號給到壓力變送器中,當(dāng)壓力作用在測量...
ADXL345 3 軸數(shù)字加速計: 小型、薄片式、低功耗移動設(shè)備應(yīng)用的理想選擇
具有 13 位分辨率的 ADXL345 3 軸數(shù)字加速計 Analog Devices 的小型、薄片式、低功耗 ADXL345 加速計是移動設(shè)備應(yīng)用的理...
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical Systems,簡稱MEMS)壓力傳感器在汽車工業(yè)中有著極為廣泛的應(yīng)用。它們小巧高效,能夠...
2024-12-17 標(biāo)簽:mems壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 288 0
適用于MEMS傳感器的先進(jìn)ML:提高精度、性能和功耗
*附件:適用于MEMS傳感器的先進(jìn)ML:提高精度、性能和功耗.pdf 當(dāng)前一代傳感器現(xiàn)在可以通過在邊緣利用機(jī)器學(xué)習(xí)(ML)技術(shù)來收集、分析和發(fā)送重要數(shù)據(jù)...
LSM6DSV16X基于MLC智能筆動作識別(3)----MEMS Studio訓(xùn)練數(shù)據(jù)
MEMS-Studio是一套完整的桌面軟件解決方案,專為開發(fā)嵌入式AI功能、評估嵌入式庫、分析數(shù)據(jù),以及為整個MEMS傳感器產(chǎn)品組合設(shè)計無代碼算法而設(shè)計...
STHS34PF80高靈敏度紅外感應(yīng)器(2)----InfraredPD存在感應(yīng)檢測
InfraredPD 主要作用是通過與 STHS34PF80 紅外傳感器配合,提供對存在感應(yīng)和運動檢測的支持,同時對傳感器獲取的物體溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行環(huán)境溫度...
2024-10-14 標(biāo)簽:mems紅外感應(yīng)器 1153 0
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(10)----陀螺儀校準(zhǔn)
在現(xiàn)代電子設(shè)備中,陀螺儀傳感器被廣泛用于測量設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運動。然而,由于各種環(huán)境因素和制造工藝的影響,陀螺儀通常會存在零速率偏移(Zero-rate Of...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(6)----獲取磁力計數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計
ADIS16470微型MEMS慣性測量單元(IMU)英文手冊立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
Thorlabs收購MEMS VCSEL先驅(qū)者Praevium Research
據(jù)報道,總部位于美國加州的領(lǐng)先光學(xué)解決方案提供商Thorlabs,近日宣布成功收購MEMS垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)領(lǐng)域的先驅(qū)者Praevium ...
博世是MEMS技術(shù)的領(lǐng)跑者,也是全球最大的MEMS傳感器供應(yīng)商之一,在MEMS領(lǐng)域已深耕三十年。博世MEMS傳感器的產(chǎn)品組合豐富,涵蓋汽車應(yīng)用、消費電子...
三軸MEMS陀螺儀:創(chuàng)新科技,精準(zhǔn)感知
在智能設(shè)備日新月異的今天,傳感器作為設(shè)備感知外界環(huán)境的“耳目”,其性能的提升對于設(shè)備的整體表現(xiàn)至關(guān)重要。艾瑞科慣性技術(shù)ER-3MG-14三軸MEMS陀螺...
芯動聯(lián)科簽訂2.7億元陀螺儀產(chǎn)品銷售合同,2025年執(zhí)行完畢
傳感器專家網(wǎng)消息,1月17日晚間,國產(chǎn)高精度慣性傳感器企業(yè)芯動聯(lián)科發(fā)布公告稱, 公司于近日與客戶 P 簽訂了陀螺儀產(chǎn)品的銷售合同,合同金額2.7億元人民...
2025-01-20 標(biāo)簽:mems陀螺儀芯動聯(lián)科 1013 0
國產(chǎn)芯片開掛了!12英寸MEMS頂配產(chǎn)線助力微流控芯片快速崛起!
1月16日,上海傲睿科技有限公司(簡稱“傲睿科技”)與長期專注于集成電路及MEMS芯片產(chǎn)業(yè)的上海興橙投資管理有限公司(簡稱“興橙資本”)及其產(chǎn)業(yè)平臺廣州...
飛利浦將旗下MEMS代工廠Xiver出售,該廠為ASML光刻機(jī)提供組件
近日,飛利浦已將其位于荷蘭埃因霍溫的 MEMS 晶圓廠和代工廠出售給一個荷蘭投資者財團(tuán),交易金額不詳。該代工廠為 ASML 光刻機(jī)等公司提供產(chǎn)品,并已更...
新原理與新結(jié)構(gòu):基于分離波導(dǎo)交叉的MEMS硅光開關(guān)及陣列
01. 研究成果概述 ? ? ? 2025年1月2日,光電學(xué)院戴道鋅/李歡研究團(tuán)隊在《Nature Communications》期刊在線發(fā)表了題為“S...
奧松電子建設(shè)粵港澳大灣區(qū)首個智能傳感技術(shù)概念驗證中心
近日,廣州市科學(xué)技術(shù)局公布《2024年度概念驗證中心認(rèn)定名單》,廣州奧松電子股份有限公司(以下簡稱“奧松電子”)建設(shè)的“廣州市智能傳感技術(shù)概念驗證中心”...
封頂!奧松半導(dǎo)體重慶8英寸MEMS項目今年投產(chǎn)
1月8日,記者從西部(重慶)科學(xué)城獲悉,奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地一期項目FAB主廠房近日封頂,標(biāo)志著該項目建設(shè)取得階段性進(jìn)展。預(yù)計...
蘇州MEMS芯片初創(chuàng)企業(yè)完成近千萬美元A+輪融資
蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司(原位芯片,YW MEMS)近日宣布完成近千萬美元A+輪融資,投資方為美元基金。本輪融資將推動公司加速布局基于MEMS壓電技...
型號 | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊 | 參考價格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價格
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