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多晶硅材料的制備

2010年07月18日 11:21 www.qldv.cn 作者:本站 用戶評論(0
關鍵字:多晶硅(29326)

當熔融的單質硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則形成多晶硅。
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1)碳還原法
在電弧中,利用純度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右進行還原反應,可生成多晶硅。

2)三氯氫硅氫還原法
3)硅烷熱分解法??????
4)四氯化硅氫還原法????????????

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