高分子電容式濕敏元件的結構如圖所示，這種濕敏元件基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是一層很薄的金屬微孔蒸發膜發膜，水分子可通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，這樣使異致高分子薄膜介電常數發生相應的變化。因為介電系數隨空氣相對濕度變化而變化，所以只要測定電容值C的大小便可測得相對濕度。
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C=εS/d
式中:
ε--高分子薄膜的介電常數;
d---高分子薄膜的厚度;
S---電極的面積
目前大多數采用醋酸丁酸纖維素作為高分子薄膜材料，這種材料制成的薄膜吸附水分子后,不會使水分子之間相互作用，尤其在采用多孔金電極時，可使元件具有響應速度快，無濕滯等特點。
高分子電容式濕敏元件的電容值與相對濕度的關系如圖所示。
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上表列出了RSM-1型和RHS 型濕敏電容器的主要特性參數。它們具有線性度好、精度高、體積小、響應快、使用方便以及性能穩定等特點。它們適用于氣象、航天航空、國防工程、電子、紡織、煙草、糧食、醫療衛生以及生物工程等各個領域的濕度測量和控制。