MOCVD設備國產道路曲折

　　過去的6~7年中，中國用于進口MOCVD設備的經費約合100億元人民幣，其中各地方政府補貼經費高達70億元左右。

　　完整的MOCVD設備進口免稅，而國產MOCVD制造過程中需要進口的一部分關鍵零部件需繳納關稅，使得現階段國產設備處于劣勢。

　　對于很多像LED、PV、電動汽車、通訊（包括無線通訊和光纖通訊）等高科技領域來說，MOCVD無疑是非常重要和關鍵的設備，因為很多相關系統中所用到的器件和芯片都出自于MOCVD所生長和制作出的外延片。可是多年來，國內的MOCVD一直靠進口，國外設備占據了絕大部分份額，這種現狀急需改變。

　　巨頭壟斷市場

　　國產設備處境艱難

　　過去6~7年中，中國用于進口MOCVD設備的經費約15億美元，其中各地方政府補貼經費高達70億元左右。

　　當前，美國的VEECO和德國的Aixtron公司壟斷了全球近95%的市場。在過去的6~7年中，中國用于進口MOCVD設備的經費大約15億美元，約合100億元人民幣，其中各地方政府補貼經費高達70億元左右。為了半導體照明產業的發展，花費巨資購買所需要的關鍵設備本來無需質疑，可惜的是，我們花了這么多的錢，最后還是沒有屬于自己的核心設備技術和關鍵零部件。

　　當已有的設備和技術落后了，不再有競爭優勢了，甚至被淘汰了，或是我們需要更多設備的時候，我們還是要繼續花費巨資向外國公司購買新的設備。當我們需要做些改進或者要加入自己的技術和想法時，原廠“敲詐勒索”要求付出高額的費用才配合我們做些有限的變動和修改，通常他們所要的費用是我們一般國內公司所無法承受的，最后結果是不了了之，保持原貌。所以說，這么多年來，中國應該是他們最大的客戶，或者是一流的客戶，但是得到的卻是三流的待遇。在這種境況下，中國MOCVD的用戶很難開發出屬于自己的真正的核心技術和知識產權，因為真正重要的工藝技術一定是與設備捆綁在一起的。國家主管部門看到了MOCVD的重要性，因此在“十二五”規劃中明確提出，到2015年實現MOCVD設備的國產化。

　　2013年，國內在MOCVD設備國產化方面向前邁進了一大步，并且在市場推廣方面取得了階段性的成果。光達光電、中微半導體、中晟等公司所研制的MOCVD設備先后得到了各自用戶的認可和驗證，并得到了很多正面的評價，一掃過去的陰霾。大家從大量的實驗結果中看到了MOCVD設備國產化的希望。正是這些公司最近幾年來不懈的努力，將多年來人們對于MOCVD是否能夠國產化的疑云驅散，使得MOCVD國產化逐步成為現實。從技術的角度，在初期，國產的MOCVD主要是在現有的成熟的平臺上進行嘗試和開發，有的采用高速旋轉技術，有的以噴淋頭技術為主，還有的是采取水平層流式，或是以上3種技術中某2種技術的嫁接與組合。不論如何，事實證明，現有國產設備在基本工藝和產出的外延片芯片的性能指標上都已經達到了現有進口設備的水平。所以說，MOCVD國產化在技術開發和技術落地上已經取得了初步的成功，并完成了第一階段的目標。當然在大批量生產、可靠性、重復性、成本降低、關鍵零部件國產化，進一步的創新和各項指標優化等方面還有大量的工作要做。

　　“崇洋”心理

　　阻礙國產設備前進

　　人們對于進口設備的迷信和對于國產設備的懷疑，使得寧愿進口設備也不想去冒任何風險。

　　MOCVD的國產化面臨著諸多挑戰，除了上面提到的技術開發和落地外，更大的挑戰在于人們對于國產MOCVD的懷疑。

　　先從人們對于進口設備的迷信和對于國產設備的懷疑談起。由于各種歷史和客觀的原因，目前的現實是中國人普遍迷信和喜愛進口商品。這一點，大家心知肚明。更重要的是，不論是Aixtron公司還是Veeco公司，在MOCVD設備開發和生產制造方面都有近30年的歷史積累，一家只有3年左右歷史的中國MOCVD公司如何能夠生產出可以與具有30年經驗的國際公司的成熟產品競爭的MOCVD設備，在很多人的心目中都會是一個大大的問號。所以，開始時大家抱著懷疑和觀望的態度，等別人試好了，成熟了再用，都想做受益者，不想參與，不想付出，國產的MOCVD怎么會有機會呢？所以，為了要大家接受和相信國產的MOCVD，MOCVD的生產廠家必須付出相當大的代價去做，包括補貼給愿意試用的客戶，承擔所有或大部分費用。而且這樣做，還不一定能夠簽下來訂單。這樣的現實使得MOCVD制造公司承受了巨大的財務和心理壓力，同時也承擔了許多的商業不確定性和風險。

　　一免一減一繳

　　讓“國貨”淪陷

　　完整的MOCVD設備進口免稅且有地方補貼，而購買國產設備需要全額支付。

　　再看看產業與市場環境方面。由于2009年從揚州開始對于進口MOCVD進行高額補貼，各地紛紛效法，致使在2010年到2012年這3年期間，中國MOCVD的采購數量呈現井噴的現象。這期間中國總共進口了大約700臺MOCVD設備，成為全球最大市場。Aixtron和Veeco2家公司也賺得缽滿盆滿。事實上，這段時間中國的LED照明產業并不需要那么多MOCVD機臺。由于補貼額度巨大，加之有最低采購數量的要求，很多公司也只好盲目采購了大量的MOCVD機臺，從而造成了MOCVD的產能階段性過剩。

　　2012年的下半年到2013年，中國LED照明行業也出現了類似于“三年自然災害”的現象，產業一片蕭條。中國的市場需求沒有那么大，歐洲、美國、日本的經濟又不景氣，MOCVD的外延芯片產能遠遠大于實際市場應用需求，造成了中國LED行業從來沒有過的低迷。最嚴重的時候，MOCVD的使用率只有30%左右，大部分設備閑置。正是在這樣的大環境下，國產MOCVD橫空出世。所以，有人感嘆說“中國的MOCVD設備生不逢時”。由于取消的訂單和一些LED芯片廠擴產計劃的改變，造成了國際那2家公司有大量存貨。他們在財務賬目處理完后，進行了“半價”處理，這使得MOCVD市場環境更加惡劣。而且，從關稅的角度講，目前，完整的MOCVD設備進口是免稅的，而國產MOCVD制造過程中需要進口的一部分關鍵零部件是需要繳納關稅的。這一免一減一繳，使得現階段國產MOCVD在成本和價格上幾乎無法與進口的設備競爭。更加嚴重的是，原來有些地方政府對于MOCVD的補貼政策還沒有執行完，按照原來計劃，他們手里還有100~200臺MOCVD的補貼額度沒有用完，還可以使用。也就是說，按照原來的方案，如果買進口MOCVD設備可能每臺能得到500萬~1000萬元的補貼，但是如果買國產的，可能要支付全額。這叫國產的MOCVD如何進行競爭？！

　　國產MOCVD面臨上述的困境，政府還沒有明確的解救措施和方案。地方政府補貼也好，關稅政策也好，某種意義上阻擋了MOCVD國產化。國外公司正是借助于這些政策在中國實施“傾銷”，從而繼續占領中國市場。我們呼吁中央和各地相關政府部門采取行動，幫助解決這些問題，避免MOCVD的國產化被扼殺在搖籃之中。只有MOCVD實現了國產化，中國的LED照明產業才會有根基，才會在國際上真正有話語權。其他光電產業及電力電子、通訊、電動汽車等行業也會從中大大受益。