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東莞市準納光電科技有限公司

公司是一家富有開拓性、創造性和創新精神的專業光學制造企業:主要從事光學相關產品(部件及儀器)的研發和制造。

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日本speedfam28B雙面拋光機 平面研磨機 減薄機

型號: speedfam28B-5P

--- 產品參數 ---

  • 品牌 日本speedfam
  • 型號 28B-5P
  • 最大加工 680
  • 最小加工 10
  • 最厚加工 50
  • 最薄加工 0.1
  • 功率 25
  • 電機 3個
  • 游星輪直徑 715

--- 產品詳情 ---

  • 本機主要用于硅片、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體、玻璃及其它硬脆材料的雙面研磨。本機從設備的結構、精度、功能、可靠性、工藝性等方面進行優化設計,性能優良,完全能滿足用戶的使用要求。

 

一. 概述

1.1本機采用龍門式結構,外型美觀大方,提高了整機剛度。

1.2整機的運行采用單電機拖動,通過減速機后由四組不同速比的齒輪給上研磨盤、下研磨盤、齒圈、中心輪提供不同的速度,使四種速度達到最佳的配比,滿足工藝的要求,其中中心輪相對與其它三個轉速的速比可調(兩級),使游輪自轉可實現正轉、反轉,滿足了不同研磨(修盤)工藝的需求。

1.3本機為下研磨盤升降方式、下研磨盤的高低位置可在總行程范圍內隨意停留自鎖,以滿足改變游輪嚙合高低位置的需要;

1.4本機繼承其它研磨機壓力控制的成功經驗:采用四段壓力,即輕壓、中壓、重壓、修研(輕壓)的運行過程; 

1.5本機采用PLC、四行文本顯示器,變頻調速,電機速度由外設電位器手動隨時調節;速度由預設的四段速度因運行時間而自動改變,四段速度的運行時間與四段壓力時間相對應。設備留有工件測厚裝置接口;

1.6接液盆、護圈的設計采用半露式結構,保證了設備工作時不會漏砂,并且便于用戶對設備進行清理;

1.7研磨速度的匹配,符合國際上通用的研磨機理,此速度匹配已被普遍認可。

 三.主要技術參數

1. 研磨盤尺寸(mm):  φ1800× φ780 ×50

2. 游輪參數:         英制:齒數Z=350  DP=12 α=20°

                      公制:齒數Z=182 m=3   α=20°

3. 游輪數量:         5片

4. 修正輪數量:       4片

5. 最小研磨厚度:     0.50mm/φ680,0.40mm/φ680,

0.35mm/φ75

6. 最大研磨厚度:   50mm

7. 研磨直徑及片數     φ680/5片 

8. 最大研磨直徑:     φ680 mm

9. 下研磨盤轉速:       0~90rpm

10. 主電機:          11Kw    220V   3460rpm

11. 三相電泵          AB-100   250W  100L/min

四.精度指標

1. 下研盤端面跳動0.08.

2. 上、下研磨盤平面度0.030.(只檢查下盤)。

3. 太陽輪徑向跳動:0.12.

4. 齒圈徑向跳動;0.20.

5. 上、下研磨盤回轉中心不重合度≤0.5mm.

四個修正輪精度狀況:

6. 厚度一致性:0.008

7. 上下面平面度:0.005

8. 上下面平行度:0.006

9.    整機噪音:    ≤75dB(A)

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